下载晶片的加工方法的技术资料

文档序号:12202330

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提供一种晶片的加工方法,其能够防止芯片的角的缺损。所述晶片的加工方法具有:保护部件设置步骤,将保护部件(21)设置在晶片(11)的正面(11a);改性层形成步骤,照射对晶片具有透射性的波长的激光束(L)来在晶片的内部形成改性层(23);保持...
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