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一种双层载盘的送板装置，是置于制程设备的前侧，其包括：机座、空载盘输送机构、板件输送机构、具有顶杆的载盘上顶机构、具有载盘手臂的载盘移载机构、具有板件手臂的板件移载机构，以及满载盘输送机构；双层载盘及电路板板件分别经空载盘输送机构及板件输送...
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