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本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种清洗装置，用于清洗研磨垫修整器的研磨盘。该清洗装置主要由基座、毛刷和喷嘴组成，毛刷固定设置在该基座上，底板上设置有多个喷嘴，在清洗过程中，不仅能够持续喷水清洗，还利用毛刷的刷毛对研磨垫修整器的研...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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