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提供了一种串行群集工具系统。所述系统包括：第一群集工具，具有第一多个处理腔室和至少一个第一周边腔室；第二群集工具，具有第二多个处理腔室和至少一个第二周边腔室；以及腔室间适配器元件，所述适配器元件将所述至少一个第一周边腔室联结到所述至少一个第...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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