【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】 背景
本技术的实施方式一般涉及一种串行群集工具系统。 相关技术描述 在诸如薄膜晶体管（TFT)、液晶显示器（IXD)、平板显示器、有机发光二极管 (0LED)，或用于太阳能电池组的光伏电池之类的半导体元件的生产中，许多元件制造工艺 是在设置于公用平台上的一或多个工艺腔室中执行的。所述公用平台被称为群集工具且包 括中央传递腔室，所述中央传递腔室包括在所述群集工具内传递基板的机器人装置。现代 的生产设备往往包含众多的群集工具，所述群集工具可以在基板上执行不同的工艺。这些 群集工具往往串行连接在一起，以在所述生产设备内形成有效的流水作业装配线。此外，许 多串行连接的群集工具可以并行操作以提高生产量。 当所述群集工具装配在用于串行联结的生产设备中时，所述工具并非一直精确地 对准，甚至在具有适当的规划和布局的情况下也是如此。此外，所述串行的群集工具可紧密 间隔在一起，以使得为了执行维护保养操作将需要移动所述群集工具中的一或多个。需要 适配器装置，所述适配器装置可用作用于群集工具的腔室间连接器。 实用新塑概要 本技术的实施方式一般提供一种用于将一群集工具联...
【技术保护点】
一种串行群集工具系统，其特征在于，包括：第一群集工具，具有第一多个处理腔室和至少一个第一周边腔室；第二群集工具，具有第二多个处理腔室和至少一个第二周边腔室；和腔室间适配器元件，用于将所述至少一个第一周边腔室联结到所述至少一个第二周边腔室，所述腔室间适配器元件包括联结在所述至少一个第一周边腔室和所述至少一个第二周边腔室的密封面之间的耐真空柔性段。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：栗田真一，稻川真，J·A·霍，R·L·蒂纳，S·安瓦尔，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：新型
国别省市：美国;US
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