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一种制造半导体集成电路的方法包括：在半导体衬底中形成下电极；在半导体衬底上形成包括暴露出下电极的相变区的层间绝缘层；沿着层间绝缘层和暴露出的下电极的表面形成具有晶体状态的第一相变层；以及基于所述第一相变层的结晶性在第一相变层上生长第二相变层...
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