下载存储装置及其制造方法的技术资料

文档序号:12091233

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本发明是关于一种存储装置,包括衬底、井区、隧穿介电层、第一导体层、隔离结构以及阻障层。井区位于衬底中,隧穿介电层位于井区上,第一导体层位于隧穿介电层上,隔离结构位于第一导体层、隧穿介电层、井区以及衬底中,其中隔离结构与井区之间具有阻障层。本...
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