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一种基于压电材料有源层的TFT结构及其制备方法技术
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文档序号:11906205
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本发明涉及一种基于压电材料有源层的TFT结构及其制备方法,该TFT包括基板、栅极、绝缘层、有源层、源极和漏极,所述有源层是由添加有压电材料的氧化物或有机物制作而成。TFT器件采用添加有压电材料的氧化物或有机物作为有源层,由于压电材料的特性,...
该专利属于福州大学所有,仅供学习研究参考,未经过福州大学授权不得商用。
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