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缩小尺寸的共振隧穿场效应晶体管制造技术
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文档序号:11903230
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实施例包括异质结隧穿场效应晶体管,所述异质结隧穿场效应晶体管包括源极、沟道和漏极;其中,(a)所述沟道包括与沟道长度相对应的长轴,以及与沟道宽度相对应并且与所述长轴正交的短轴;(b)所述沟道长度小于10nm长;(c)对所述源极进行掺杂使其具...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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