下载碳化硅半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:11900579

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碳化硅膜(90)具有第一和第二主表面(P1、P2)。第二主表面(P2)具有元件形成表面(PE)以及终端表面(PT)。碳化硅膜(90)具有构成第一主表面(P1)以及与第一主表面(P1)相反的中间表面(PM)的第一范围(RA),以及提供在中间表...
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