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一种花瓣形表面结构的可控温加热盘，主要解决现有的加热盘及静电卡盘所存在的无法快速、准确控制晶圆温度的问题。它包括中心设有进气孔的加热盘。所述加热盘的表面制有花瓣形布局的气体流动径向沟槽，在加热盘中心的一个圆形空间设有中心稳流区。所述加热盘设...
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