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本发明公开了一种晶圆吹扫装置、系统及方法，其中装置包括：包括输送装置、充气嘴、电控气动装置、控制器以及连通充气嘴和电控气动装置的气路；电控气动装置，用于在启动充气后，驱动输送装置到达预设工作位置处，使充气嘴和前开式晶圆盒的充气口对接，并向气...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。