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本发明提供一种不使接触探针折弯就能够投入探针卡的基板检查装置。晶片检查装置(10)包括：载置用于配置多个接触探针(20)的探针卡(18)的中间板(22)；用于配置中间板(22)的抽出状的工作台(21)；用于安装探针卡(18)的测试器(15)...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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