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一种聚焦环和应用聚焦环的溅射反应器，所述聚焦环具有内表面，所述内表面具有花纹，所述花纹的深度大于850μm且小于1000μm。所述聚焦环具有所述深度的花纹，能够大幅提高聚焦环对吸收量对反溅射颗粒物的吸收量，并且可以改善聚焦环对较大的溅射粒子...
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