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本发明提供一种使用组合蚀刻掩模的组合掩模的方法，所述组合蚀刻掩模包括材料层堆叠的顶层和在所述顶层上的次级掩模，以蚀刻所述堆叠的其他材料层。所述方法包括图案化在材料层堆叠的顶上的第一层，和在图案化第一层的顶上提供次级掩模。所述方法进一步包括使...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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