下载具有模塑通孔的半导体器件的技术资料

文档序号:11605521

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本发明提供了一种形成具有模塑通孔的半导体器件的方法,该方法包括共晶接合覆盖晶圆和基底晶圆以形成晶圆封装件。基底晶圆包括第一芯片封装件部分、第二芯片封装件部分和第三芯片封装件部分。覆盖晶圆包括多个隔离沟槽和多个分离沟槽,相对于覆盖晶圆的相同表...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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