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一种掩膜版装载盒制造技术
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下载一种掩膜版装载盒的技术资料
文档序号:11582002
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一种掩膜版装载盒,包括:掩膜版容置腔室;底部,设置在掩膜版容置腔室之底端,并在底部间隔设置相互独立的通孔,且通孔沿着掩膜版容置腔室之方向的末端与底部之紧邻掩膜版容置腔室的一侧设置呈非密闭式连接的阻隔板;密闭孔塞和通气孔塞,密闭孔塞和通气孔塞...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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