下载支承体构造及处理装置的技术资料

文档序号:11547672

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本发明提供支承体构造及处理装置。该支承体构造用于在处理容器构造(42)内支承被处理体(W),该处理容器构造(42)在收容有多个上述被处理体(W)的状态下供处理气体从一端朝向另一端流动而进行规定处理,该支承体构造包括顶板部(48)、底部(50...
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