温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种介质窗密封结构及PVD设备，包括介质窗、密封转接件、压板、第一密封圈、第二密封圈、缓冲件和安装底座；压板、介质窗和密封转接件依次连接形成上腔室组件，密封转接件与介质窗之间设置第一密封圈和缓冲件，密封转接件上设有第一凹槽，第一密...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。