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本实用新型提供一种零颗粒缺陷传输腔，通过将晶圆表面颗粒清除的作用直接集成在传输腔中，无需增加新的机台，从而使得操作简单并且成本低廉；同时由于省去了将晶圆传输至洗刷机台的操作，使得晶圆表面颗粒清除的耗时得以减小；此外，由于可以选择在单一机台上...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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