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一种用于盘形基片的传送和移交机构，其包括：承载器(3)和接管机构(15)。二者相对于彼此可移动。通过接管机构(15)处的永磁体(17)的远距离控制，可磁化材料制成的相对较重的基片承载器(7)由接管机构(15)进行接管或者从其返回到承载器(3...
该专利属于欧瑞康先进科技股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过欧瑞康先进科技股份公司授权不得商用。

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