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本发明涉及一种测量多面扫描转镜精度的方法,包括以下步骤:以激光器照射多面扫描转镜,激光经过反射后被脉冲测量装置采集;匀速转动所述多面扫描转镜;利用脉冲测量装置采集脉冲并测量时间;分别对扫描的脉冲周期数据组、脉冲周期中高电平占用时间数据组、脉...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明涉及一种测量多面扫描转镜精度的方法,包括以下步骤:以激光器照射多面扫描转镜,激光经过反射后被脉冲测量装置采集;匀速转动所述多面扫描转镜;利用脉冲测量装置采集脉冲并测量时间;分别对扫描的脉冲周期数据组、脉冲周期中高电平占用时间数据组、脉...