【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光电测量
，涉及。
技术介绍
多面扫描镜是正多面体零件，其任意相邻两个面的法线夹角的一致性是决定其扫 描镜精度的重要参数之一，由于多面扫描镜为旋转部件，旋转轴心与正多面体的中心的重 合度也是影响多面扫描镜扫描精度的原因。实际应用中，如何测量加工好的多面扫描镜的 精度是非常重要的。如何快速检测其精度成为实际工作的必须。 现阶段已对如何测量多面扫描镜的精度有一定的研究，误差的检验方法主要有用 带度盘的仪器（如测角仪经纬仪等）直接测量角度偏差；用多齿分度盘与自准直仪组成测 量系统，自准直仪定位，由分度盘读取角度偏差。此外，也采用相对比较法或组合法进行测 量。"激光扫描镜工作角偏差检测新方法"中，该法通过两个激光扫描转镜相应面相互比较 和检测，仅用一台自准直仪，可同时检测两个扫描转镜。这种测量方法需在机器处于静态 情况下测量，方法繁琐，结构复杂。
技术实现思路
为了克服已有技术存在的缺陷，本专利技术的目的在于能在扫描转镜正常工作时实施 测量，提供一种采用非接触的测量多面扫描转镜精度的方法。 本专利技术的技术方案如下： -种测量多面扫描转...
【技术保护点】
一种测量多面扫描转镜精度的方法，其特征在于，包括以下步骤：以激光器照射多面扫描转镜，激光经过反射后被脉冲测量装置采集；匀速转动所述多面扫描转镜；利用脉冲测量装置采集脉冲并测量时间；当脉冲上升沿来临时，将定时器打开，紧接着的下降沿来临时，读取定时器的值；下一个上升沿来临时关闭定时器，读取定时器的值；如此循环往复采集多个脉冲中高电平占有时间和脉冲的周期得出多组数据；分别对扫描的脉冲周期数据组、脉冲周期中高电平占用时间数据组、脉冲周期中低电平占用时间数据组进行数据分析，得到多面扫描镜的精度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱万彬，鲁秀娥，张远志，刘洪志，段锁城，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22
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