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本发明涉及一种能够提高光纤点衍射干涉仪检测范围的波面参考源，其有以下部分组成：光纤，XY位移台，准直镜头，双层密度盘，五棱镜，光电探测器，聚焦物镜，微孔反射镜。在进行光学检测时，光纤衍射球面波经准直、聚焦再经微孔衍射为较大NA的近似标准球面...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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