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本发明公开一种高真空原位储靶装置及其使用方法，一腔体，所述腔体的内部设有若干层靶材层，并且每一所述靶材层具有若干靶材托盘，同时，若干层所述靶材层可在所述腔体的内部移动；所述腔体的外侧壁开设驳接接口，所述驳接接口安装接口阀门；真空泵，所述真空...
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