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等离子体CVD装置用的晶片加热器制造方法及图纸
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下载等离子体CVD装置用的晶片加热器的技术资料
文档序号:11191569
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本发明提供一种等离子体CVD装置用的晶片加热器,能够在晶片表面的整个面上以形成更均匀的膜厚的方式成膜。晶片加热器(10)由陶瓷制成,具备具有升降销通孔(11b)的晶片载置面(11a),从晶片载置面(11a)侧开始依次埋设有等离子体CVD用的...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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