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本实用新型公开了一种基于管式炉的卷对卷气相沉积装置，包括管式加热炉、供气系统和真空泵组，管式加热炉包括炉体和设置在炉体内的反应腔体，还包括：设置在反应腔体外侧且与反应腔体两端分别密封连接的第一密封仓和第二密封仓，第一密封仓内设置有第一传动装...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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