本实用新型专利技术公开了一种基于管式炉的卷对卷气相沉积装置，包括管式加热炉、供气系统和真空泵组，管式加热炉包括炉体和设置在炉体内的反应腔体，还包括：设置在反应腔体外侧且与反应腔体两端分别密封连接的第一密封仓和第二密封仓，第一密封仓内设置有第一传动装置，第二密封仓内设置有第二传动装置，供气系统与反应腔体、第一密封仓和第二密封仓三者中的一个连通，且真空泵组与三者中另外两个中的一个连通，第一密封仓和第二密封仓内均设置有用于冷却第一密封仓、第二密封仓和反应基体的水冷装置。本方案提供的装置反应基体在反应腔内连续反应，实现反应基体的卷对卷气相沉积。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及复合材料制造
，特别涉及一种基于管式炉的卷对卷气相沉积装置。
技术介绍
化学气相沉积方法是一种利用反应物气态前驱体在一定温度下分解反应形成薄膜、涂层或者微米、纳米结构的化学技术。这种方法已经被广泛应用于各种材料的合成，比如：石墨烯、碳纳米管、硅、氧化锌等等。管式加热炉作为一种易于制造和管理的反应炉已经被广泛应用于化学气相沉积反应。 以制备石墨烯为例，现有技术中的石墨烯的制备是在管式加热炉中进行，制备装置包括一个腔体，将待反应的反应物放置在管式加热炉中，对管式加热炉进行加热，此时的化学气相沉积是静态生长模式，管式炉内的反应物生长完成后，取出生长物，进行下一反应物的生长；现有技术中存在能够实现反应物连续生长的气相沉积装置，CN102828161A专利中公开了一种石墨烯生产方法和连续式生产装置，该装置包括真空腔体，真空腔体内设置有加热器件、反应基体传送的传送系统、反应基体冷却系统、反应基体化学气相沉积系统和反应基体退火系统，反应基体的连续生长在真空腔体内进行，反应基体通过传送系统的传送实现连续生长。上述专利文件中提到的装置，气相沉积的各个部件需要固定在真空腔体内，导致各个部件在真空腔体内的组装存在一定的难度，安装不方便。 因此，如何降低反应基体连续生长的装置的组装难度，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种基于管式炉的卷对卷气相沉积装置，以降低反应基体连续生长的装置的组装难度。 为实现上述目的，本技术提供如下技术方案： 一种基于管式炉的卷对卷气相沉积装置，包括管式加热炉、供气系统和真空泵组，管式加热炉包括炉体和设置在炉体内的反应腔体，还包括： 设置在所述反应腔体外侧且与所述反应腔体两端分别密封连接的第一密封仓和第二密封仓，所述第一密封仓内设置有第一传动装置，所述第二密封仓内设置有第二传动装置，所述供气系统与所述反应腔体、所述第一密封仓和第二密封仓三者中的一个与连通，且所述真空泵组与三者中另外两个中的一个连通，所述第一密封仓和所述第二密封仓内均设置有用于冷却所述第一密封仓、所述第二密封仓和反应基体的水冷装置。 优选的，在上述基于管式炉的卷对卷气相沉积装置中，所述第一密封仓和所述第二密封仓与所述管式加热炉通过法兰连接。 优选的，在上述基于管式炉的卷对卷气相沉积装置中，所述第一传动装置装置包括：设置在所述第一密封仓内用于卷绕已发生反应的反应基体的第一卷绕辊和设置在所述第一密封仓的外侧且与所述第一卷绕辊连接的第一电机； 所述第二传动装置包括：设置在所述第二密封仓内用于卷绕未发生反应的反应基体的第二卷绕辊和设置在所述第二密封仓的外侧且与所述第二卷绕辊连接的第二电机。 优选的，在上述基于管式炉的卷对卷气相沉积装置中，所述水冷装置包括： 沿所述第一密封仓和所述第二密封仓的外壁设置用于冷却所述第一密封仓和所述第二密封仓的水冷层；与所述反应基体的传送方向垂直布置且与所述反应基体贴合用于冷却反应基体的水冷管。 优选的，在上述基于管式炉的卷对卷气相沉积装置中，所述供气系统包括： 能够承装氢气或者氩气或者硅烷或者甲烷或者乙烯或者乙炔或者乙烷气 体的气瓶，所述气瓶的个数不少于2个，所述气瓶上设置有流量计。 优选的，在上述基于管式炉的卷对卷气相沉积装置中，所述真空泵组为机械泵泵组或扩散泵泵组或分子泵泵组，或者所述真空泵组为机械泵、扩散泵和分子泵中的两种或三种组合成的泵组； 还包括与所述真空泵组通信连接用于检测所述管式加热炉内真空度的真空计。 优选的，在上述基于管式炉的卷对卷气相沉积装置中，还包括： 设置在所述第一卷绕辊上用于检测所述反应基体张紧度的张力传感器，所述张力传感器与所述第二电机通信连接； 与所述第一电机配合的第一减速机和与所述第二电机配合的第二减速机。 优选的，在上述基于管式炉的卷对卷气相沉积装置中，还包括：与所述第一电机和所述第二电机通信连接用于检测所述反应基体拉伸度的行程开关。 从上述技术方案可以看出，本技术提供的基于管式炉的卷对卷气相沉积装置，包括管式加热炉、供气系统、真空泵组、第一传动装置和第二传动装置，第一传动装置和第二传动装置用于传动反应基体，还包括设置在管式加热炉的反应腔体外侧且与反应腔体的两端密封连接的第一密封仓和第二密封仓，第一传动装置设置在第一密封仓内，第二传动装置设置在第二密封仓内，供气系统和真空泵组共同调节装置内的气压。本方案提供的装置将第一密封仓和第二密封仓设置在反应腔体的两侧，第一密封仓、第二密封仓和反应腔体组成卷对卷气相沉积的反应腔体，相对于现有技术中的反应装置，不需要设置一个大的密封腔将其他装置包裹在内，本方案提供的装置将第一密封仓、第二密封仓和反应腔体组合即可构成反应腔体，为第一传送装置和第二传送装置等装置的安装提供了安装基础，降低了装置的安装难度。 附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 图1为本技术实施例提供的基于管式炉的卷对卷气相沉积装置的结构示意图。 1、管式加热炉，2、第一密封仓，3、第二密封仓，4、第一卷绕辊，5、第一电机，6、第二卷绕辊，7、第二电机，8、水冷层，9、水冷管，10、气瓶，11、流量计，12、行程开关。 具体实施方式本技术公开了一种基于管式炉的卷对卷气相沉积装置，以降低反应基体连续生长的装置的组长难度。 下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。 请参阅图1，图1为本技术实施例提供的基于管式炉的卷对卷气相沉积装置的结构示意图。 一种基于管式炉的卷对卷气相沉积装置，包括管式加热炉1、供气系统和真空泵组，管式加热炉1包括炉体和设置在炉体内的反应腔体，还包括：设置在反应腔体外侧且与反应腔体两端分别密封连接的第一密封仓2和第二密封仓3，第一密封仓2内设置有第一传动装置，第二密封仓3内设置有第二传动装置，供气系统与反应腔体、第一密封仓2和第二密封仓3三者中的一个与连通，且真空泵组与三者中另外两个中的一个连通，第一密封仓2和第二密封仓3内均设置有用于冷却第一密封仓2、第二密封仓3和反应基体的水冷 装置。 本方案提供的装置，在管式加热炉1的反应腔体外侧两端设置有与反应腔体密封连接的第一密封仓2和第二密封仓3，通过管式加热炉1的反应腔体、第一密封仓2和第二密封仓3组成卷对卷气相沉积的反应腔，第一密封仓2内设置有第一传动装置，第二密封仓3内设置有第本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基于管式炉的卷对卷气相沉积装置，包括管式加热炉(1)、供气系统和真空泵组，管式加热炉(1)包括炉体和设置在所述炉体内的反应腔体，其特征在于，还包括： 设置在所述反应腔体外侧且与所述反应腔体两端分别密封连接的第一密封仓(2)和第二密封仓(3)，所述第一密封仓(2)内设置有第一传动装置，所述第二密封仓(3)内设置有第二传动装置，所述供气系统与所述反应腔体、所述第一密封仓(2)和第二密封仓(3)三者中的一个连通，且所述真空泵组与三者中另外两个中的一个连通，所述第一密封仓(2)和所述第二密封仓(3)内均设置有用于冷却所述第一密封仓(2)、所述第二密封仓(3)和反应基体的水冷装置。
【技术特征摘要】
1.一种基于管式炉的卷对卷气相沉积装置，包括管式加热炉(1)、供气系统和真空泵组，管式加热炉(1)包括炉体和设置在所述炉体内的反应腔体，其特征在于，还包括：
设置在所述反应腔体外侧且与所述反应腔体两端分别密封连接的第一密封仓(2)和第二密封仓(3)，所述第一密封仓(2)内设置有第一传动装置，所述第二密封仓(3)内设置有第二传动装置，所述供气系统与所述反应腔体、所述第一密封仓(2)和第二密封仓(3)三者中的一个连通，且所述真空泵组与三者中另外两个中的一个连通，所述第一密封仓(2)和所述第二密封仓(3)内均设置有用于冷却所述第一密封仓(2)、所述第二密封仓(3)和反应基体的水冷装置。
2.根据权利要求1所述的基于管式炉的卷对卷气相沉积装置，其特征在于，所述第一密封仓(2)和所述第二密封仓(3)与所述管式加热炉(1)通过法兰连接。
3.根据权利要求1所述的基于管式炉的卷对卷气相沉积装置，其特征在于，所述第一传动装置装置包括：设置在所述第一密封仓(2)内用于卷绕已发生反应的反应基体的第一卷绕辊(4)和设置在所述第一密封仓(2)的外侧且与所述第一卷绕辊(4)连接的第一电机(5)；
所述第二传动装置包括：设置在所述第二密封仓(3)内用于卷绕未发生反应的反应基体的第二卷绕辊(6)和设置在所述第二密封仓(3)的外侧且与所述第二卷绕辊(6)连接的第二电机(7)。
4.根据权利要求1所述的基于管式炉的卷对卷气相沉积装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪伟，刘兆平，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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