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本实用新型公开了一种晶片固定盘，上表面依次标有固定晶片的位置标号及标识该盘的盘号；且该固定盘上表面还具有沟槽结构。在研磨制程中，当研磨结束后下蜡取片时，沟槽结构在石蜡溶化后可以破除盘与晶片间的真空态，使晶片两面受压均匀，减小破片概率；同时因...
该专利属于安徽三安光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽三安光电有限公司授权不得商用。

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