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本实用新型提供一种托盘组件和刻蚀设备，涉及半导体设备制造技术领域。所述托盘组件包括托盘和设置在所述托盘上的盖板，所述盖板朝向所述托盘的表面上设置有加强肋，所述托盘上对应于所述加强肋的位置设置有与所述加强肋相配合的第一凹槽。本实用新型通过在盖...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。