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本发明公开了一种高数值孔径成像系统偏振像差的检测方法，采用偏振像差的物理光瞳表征方式，并对不同的像差成分进行不同的泽尼克分解方法，最终通过测试不同测试掩模的图形偏移、焦面平移和特征尺寸误差，可实时、准确地获取成像系统偏振像差的全部信息，适用...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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