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根据本发明的实施方式，一种基板处理装置包括：腔室，该腔室提供内部空间，在该内部空间中执行对于基板的处理；加热板，该加热板被固定到腔室中，基板放置在加热板的上部；加热器，该加热器设置为与加热板的下部隔开，以加热加热板；以及提升模块，该提升模块...
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