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本发明提供在对等离子体生成用高频电力和高频偏置电力进行时间调制的等离子体处理装置中能稳定地供应高频偏置电力的等离子体处理装置。本发明的等离子体处理装置具备：供应用于在真空容器内生成等离子体的第一高频电力的第一高频电源、对载置样品的样品台供应...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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