下载轴承滚柱非平衡磁控溅射离子镀装置的技术资料

文档序号:10772010

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本实用新型涉及轴承滚柱制造领域,目的是提供一种轴承滚柱非平衡磁控溅射离子镀装置。一种轴承滚柱非平衡磁控溅射离子镀装置,包括真空室,位于真空室中的工件支承转台,交替置于工件支承转台外周的若干对铬靶和对数与铬靶的对数相同的若干对碳靶,偏压电源,...
该专利属于宁夏天马滚动体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏天马滚动体制造有限公司授权不得商用。

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