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本发明提供一种基板脱离检测装置和方法、以及使用该装置的基板处理装置和使用该方法的基板处理方法。一种基板脱离检测装置，其用于基板处理装置，该基板处理装置在基板被载置到基板载置用的凹部上的状态下使旋转台连续旋转，来进行上述基板的处理，该基板载置...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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