下载超结半导体器件的终端结构及其制造方法的技术资料

文档序号:10700774

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一种超结半导体器件的终端结构,其包括:一种导电类型的半导体基板,在所述半导体基板之上的同种或另一种导电类型的外延半导体层,在所述外延半导体层的终端区具有的多条深度渐变的、与外延半导体层导电类型相异的连续柱状半导体掺杂区域,或多条深度渐变的由...
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