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本发明揭示具有改善稳定性的椭圆偏光仪系统及椭圆偏光仪数据收集方法。根据本发明，利用多个预定、离散分析器角度来收集用于单一测量的椭圆偏光仪数据，且基于在这些预定、离散分析器角度处收集到的所述椭圆偏光仪数据执行数据回归。针对单一测量利用多个离散...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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