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一种凹型溅镀装置包含一个外壳座单元、一个设于外壳座单元中且呈凹型的冷却载座、一个磁石组、一个阴极靶及一个安装于外壳座单元的进出水管组，冷却载座包括一个本体、一个设置于本体且供磁石组设置的磁石容置槽组、一个设置于本体的冷却流道及一个承载面，承...
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