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生长在W衬底上的LED外延片及制备方法技术
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文档序号:10663485
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本发明公开了生长在W衬底上的LED外延片,包括生长在W衬底上的AlN缓冲层,生长在AlN缓冲层上的非掺杂GaN层,生长在非掺杂GaN层上的n型掺杂GaN薄膜,生长在n型掺杂GaN薄膜上的InGaN/GaN量子阱,生长在InGaN/GaN量子...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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