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本实用新型涉及铁镍合金涂层的改进。本实用新型的实施方式通常提供在用于OLED制造的CVD腔室中使用的掩模。掩模由涂有氧化物材料的镍铁合金制成，所述氧化物材料诸如为氧化铁(III)(Fe3O4)或氧化钇(Y2O3)。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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