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半导体器件以及互连基板制造技术
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文档序号:10548951
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本发明涉及半导体器件以及互连基板。半导体基板包括半导体芯片以及互连基板。互连基板具有在第一主表面和第二主表面之间的互连区,第一主表面形成有连接到半导体芯片的多个顺序排列的第一和第二信号电极。互连区具有:芯基板;形成在其两个表面上的互连层;多...
该专利属于瑞萨电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过瑞萨电子株式会社授权不得商用。
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