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本发明提供一种卡盘工作台，其适于抽吸保持翘曲的晶片。所述卡盘工作台保持晶片，其特征在于，所述卡盘工作台具备：工作台主体，其具有抽吸保持晶片的保持面；以及吸附辅助体，其具有倒裙子形状的裙部，所述吸附辅助体以围绕该工作台主体的方式安装于该工作台...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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