下载一种微纳铜线结构的技术资料

文档序号:10531422

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本实用新型提供一种微纳铜线结构,包括:基底;柔性材料层,结合于所述基底表面,所述柔性材料层表面形成有多个凹槽结构;种子层,结合于各凹槽结构底部;导电铜材料,填充于各凹槽结构中。本实用新型的有益效果在于:在线宽间距变化方面,相对于以往的加成法...
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