下载一种四叶像差变形镜装置的技术资料

文档序号:10495702

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种四叶像差变形镜装置属于光学系统的系统像差补偿领域,目的在于解决现有技术存在的难以检测弹片位移量和引入的刚体位移大的问题。本发明包括光学元件、可变形镜框、八个致动器、八个位移传感器、上固定板和下固定板;光学元件与可变形镜框之间通过胶粘或压...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。