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本发明涉及直列式热处理装置。本发明的直列式热处理装置的特征在于，具备：多个加热炉（110a、120a、130a、140a、150a），连续地配置，并且分别提供对基板（50）进行热处理的空间；基板搬运部（370），设置在各个加热炉（110a、...
该专利属于泰拉半导体株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过泰拉半导体株式会社授权不得商用。

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