下载半导体光检测元件的技术资料

文档序号:10472023

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一种半导体光检测元件(SP),包括:硅基板(21),其由第1导电类型的半导体构成,具有彼此相对的第1主面(21a)及第2主面(21b),并且在第1主面(21a)侧形成有第2导电类型的半导体层(23);以及电荷传输电极(25),其设置于第1主...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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