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电子显微镜用试样支架制造技术
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下载电子显微镜用试样支架的技术资料
文档序号:10458998
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本发明的目的是提供一种能够配置多个试样台且至少一个试样台能够移动,并且能够利用聚焦离子束装置制作多个透射型电子显微镜用试样的电子显微镜用试样支架。在试样支架(1)的前端部设有支架前端开口部(9)。并且,在试样支架(1)的后端部具有按钮(5)...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。
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