下载设计的用于n型MOSFET的源极/漏极区的技术资料

文档序号:10418200

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本文公开了设计的用于n型MOSFET的源级/漏极区以及具有场效应晶体管的集成电路器件,该场效应晶体管包括具有第一层和第二层的源极区和漏极区。在沟道区的平面下方形成第一层。第一层包括掺杂硅和碳,其晶格结构小于硅的晶格结构。第二层形成在第一层上...
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