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一种去除烧结碳化硅反射镜的铝掺杂硅改性膜的方法，属于薄膜沉积技术领域中的方法。解决了传统物理抛光方法周期长、耗时多，且存在镜胚的面形改变的技术问题。该方法是使用化学试剂的方法，先用稀释的酸溶剂将表面的有机污染物去除，然后使用氢氟酸溶液将铝掺...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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