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本发明是有关于一种侦测半导体装置的方法及系统、半导体装置及其制造方法。其提供用以检测在半导体、半导体装置或基板中的缺陷的方法及系统。也提供具有新形测试图案及/或设计的半导体、半导体装置或基板。其中具有多个线路图案的半导体、半导体装置或基板产...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。

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